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手套箱蒸鍍 / 濺射一體機

真空蒸發鍍膜與手套箱聯合系統的用戶群體為科研院所及實驗室,將真空蒸發系統工作室置于 Glove box 無水、無氧、無塵的超純環境中,PVD 與 Glove box(手套箱)硬件無縫對接,操控融合一體,廣泛應用于 OPV(有機光伏電池)、OLED(有機發光二極管)、PLED(高分子發光二極管)等研究領域。

主要用途和適用范圍

本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED 和 PLED、半導體制備等實驗研究與應用。

手套箱蒸鍍 / 濺射一體機設備技術參數

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