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DH-VAM-1 真空的獲得與測量實驗儀

實驗目的:

1、了解最基本的真空系統的結構,掌握真空系統的操作方法; 

2、了解真空技術的基本知識,學習真空系統的基本方程; 

3、掌握高真空的獲得、測量的基本原理及方法; 

4、機械泵抽速測定; 

5、擴散泵抽速測定; 

6、系統漏率的測定。

設備組成:

1、實驗儀主要由真空儲氣瓶、玻璃油擴散泵、真空測量儀表、高真空閥門、流導調節管、電控系統等組成。

2 、設備的真空室、 由擴散泵、真空管路部件均可視化設計; 

3、電氣控制有安全防護,防止誤操作對人員和設備造成損傷; 

4、采用不銹鋼、真空波紋管結合管路,閥門為 316L 不銹鋼高壓雙卡套球閥;

技術參數:

1、真空儲氣瓶: 304 不銹鋼,

VAM-1.png

尺寸:約 φ200 x 480mm (以實際設計為準);容積約 15L 

2、真空測量:數顯復合真空計;電阻規+電離規測壓范圍: 1xE5~1xE-5 Pa  數量: 2套

3、真空系統: DRV10 雙極旋片泵+四級玻璃擴散泵, 擴散泵需水冷; 

4、極限真空: 5xE-3 Pa; 

5、3 組流導調節管路,組成三種不同的抽氣流導, 

6、工作電源: AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整機功率: 2kW 

8、用戶需自備或另購工業水冷機組 

9、機架:鋁合金型材機架。

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